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【御龙天下科技消息】6月1日,SK海力士位于忠清北道清州市的4园区3栋6层气体室发生火灾。消防部门接到报警后迅速出动,火灾在自动喷水灭火系统( sprinkler)启动后被扑灭,未造成大规模火势蔓延。但在灭火过程中,气体室内储存的毒性物质氟化氢发生部分泄漏,目前已确认有6名人员因此受伤。

SK海力士
据韩国消防部门及SK海力士方面初步通报,事发地点为清州4园区的半导体生产辅助设施——气体室。该区域主要用于存放芯片制造过程中所需的各种特种气体,其中就包括具有强腐蚀性和剧毒性的氟化氢。氟化氢在半导体工艺中常用于晶圆蚀刻和清洗,但一旦泄漏,会对人体呼吸道、皮肤及眼睛造成严重伤害,高浓度暴露甚至可能危及生命。
截至发稿时,事故已造成6名现场人员受伤。伤者已被立即送往公司内部的医务室及附近医院接受治疗。消防部门表示,已派出穿着防护服的队员进入现场,对事故的具体原因和损坏情况进行深入调查。消防官员补充说,受伤人数仍有可能进一步增加。
目前,韩国消防、警方以及SK海力士方面正在对事故原因展开联合调查。这家芯片工厂是全球主要的半导体生产基地之一,在DRAM和NAND闪存供应链中占据重要地位,此次事故是否会对其后续生产运营造成影响,备受市场关注。




